美國mks流量計-GM50A流量控制器-GM51A流量控制器詳細介紹
GM50A 和 GM51A 數字控制質量流量控制器可用于模擬或 RS485、Profibus™、EtherCAT®、PROFINET 或 DeviceNet™ I/O。數字控制電子設備利用最新的 MKS 控制算法，在整個設備控制范圍內對設定點進行快速且可重復的響應。典型的響應時間約為 500 毫秒。數字校準在校準氣體上產生 1% 的設定點精度。
1、流速從 5 到 50,000 sccm
2、用特氟龍閥塞金屬密封
3、多種數字（EtherCAT、DeviceNet™、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模擬（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O 選擇
4、標準閉合電導泄漏率小于滿量程的 1.0%
5、小于 750 毫秒的建立時間
模型 滿量程流量范圍 配件類型 模擬連接器 可用性 價格
GM50A013101RMM020 10 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013101SMM020 10 立方厘米 0.25 英寸世偉洛克式 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013102RMM020 100 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013103RMM020 1000 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013103SMM020 1000 立方厘米 0.25 英寸世偉洛克式 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013201RMM020 20 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013202RMM020 200 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013203RMM020 2000 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013204RMM020 20,000 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013204SMM020 20,000 立方厘米 0.25 英寸世偉洛克式 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013501RMM020 50 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013502RMM020 500 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
GM50A013503RMM020 5000 立方厘米 4 VCR 公頭 15 針 D-sub （接地） 聯(lián)系我們
規(guī)格
類型 質量流量控制器 (MFC) 入口壓力系數 <0.02% 讀數/psi
控制范圍 滿量程的 2-100% 典型穩(wěn)定時間 <750 毫秒，典型值高于滿量程的 5%
滿量程流量范圍 5 - 50000 sccm（當量 N2） 熱身時間 30分鐘
廣泛的數字和模擬接口選擇
GM50A 數控 MFC 可提供模擬或數字 I/O。數字控制電子設備采用最新的 MKS 控制算法，在整個設備控制范圍內對設定點提供快速且可重復的響應。典型的響應時間約為 500 毫秒。GM50A 的模擬和數字 I/O 可輕松用于替換 1179A MFC 的相同 I/O 類型。所有 GM50A 都包含 Modbus 作為可用的輔助 I/O（不包括 PROFINET® 和 EtherCAT®）。
標準 3 英寸占地面積
GM50A 在 5 sccm 至 50 slm 流量范圍內采用 MFC 最常使用的標準 3 英寸占地面積，無需修改現有氣體管線配置即可使用。
金屬密封
GM50A 金屬密封 MFC 具有 10 µ 英寸電拋光 316L 表面光潔度，使該質量流量控制器可用于高純度應用。
設定點精度百分比
包含的數字校準產生 1% 的設定點準確度，使用 N2 校準氣體，用于 20% 至 100% 的滿量程流量范圍。設定點精度可實現精確的過程控制與相對于滿量程的精度。對于 2 至 20% 滿量程的質量流量，精度為 ±0.2% 滿量程。
嵌入式用戶界面
嵌入式用戶界面提供了輕松更改設備范圍和用戶氣體的能力，從而降低了庫存需求。您還可以監(jiān)控 MFC 功能并就地收集性能數據。
專利熱傳感器
久經考驗的專利熱傳感器設計可提供出色的零位穩(wěn)定性。美國專利號 5461913。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。質量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計，Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（膜厚控制儀、真空計/真空規(guī)、四極質譜儀、壓強控制系統(tǒng)、氦質譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、真空閥門），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 /臭氧反應氣體發(fā)生器, 真空產品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。美國mks流量計,GM50A流量控制器,GM51A流量控制器等產品外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。