美國BROOKS流量計(jì)5866RT 彈性體密封壓力控制器和流量計(jì)
廣泛的流量測(cè)量范圍內(nèi)的高壓應(yīng)用的多功能性。
型號(hào) 5866RT
Brooks 5866RT 型金屬或彈性體密封壓力控制器和流量計(jì)在控制壓力的同時(shí)還測(cè)量流量。5866RT 型接收遠(yuǎn)程壓力傳感器信號(hào)，并使用可調(diào)節(jié)的集成 PID 控制電子設(shè)備和控制閥，將保持所需的設(shè)定壓力。5866RT 具有密封件、電拋光潤(rùn)濕表面以及廣泛的壓力和流量測(cè)量范圍等選項(xiàng)，可在廣泛的過程中提供經(jīng)過驗(yàn)證的結(jié)果。
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美國BROOKS流量計(jì)5866RT特征
一體式壓力傳感器
響應(yīng)時(shí)間：<0.8 秒
寬流量測(cè)量范圍，滿量程流量從 0 - 3 sccm 到 0 - 30,000 sccm
滿量程壓力范圍廣（最大壓力 1500 psig）
可選金屬密封件
電拋光潤(rùn)濕表面（可選）
電控閥超控
適用于上游或下游控制
模擬接口
美國BROOKS流量計(jì)5866RT好處
消除下垂、滯后和升壓
高泄漏完整性
更好地控制壓力和流量
使用頂部安裝的 DIP 開關(guān)進(jìn)行動(dòng)態(tài)調(diào)整
美國BROOKS流量計(jì)5866RT應(yīng)用
薄膜工藝
化學(xué)研究
石化研究
實(shí)驗(yàn)室
燃料電池
生命科學(xué)
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