美國BROOKS流量計-XacTorr® 系列電容壓力計
最大限度降低漂移和熱效應(yīng)。最大限度優(yōu)化真空處理結(jié)果
型號 CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3
使真空依賴型工藝的效率和性能最大化：選擇布魯克斯儀器的 XacTorr® 系列數(shù)字式真空電容壓力計。XacTorr® 系列設(shè)備同時擁有各種業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的功能技術(shù)，可提升測量可靠性、最大限度減少漂移、耐隔膜污染并能夠使熱效應(yīng)最小化。
先進(jìn)的 Mark-IV 傳感器提供不用于壓力測量的表面區(qū)域 – 可用于累積顆粒和可壓縮蒸汽。因此減少了儀表重新調(diào)零的工作、延長了傳感器壽命并且不會帶來傳感器漂移風(fēng)險。此外，還有快速響應(yīng)傳感器可供選擇，用于提供高級閉環(huán)控制性能。
結(jié)果：超精確、可重復(fù)并且高效的真空度測量，可確保每次對倉室壓力進(jìn)行抽真空時都能夠準(zhǔn)確使其達(dá)到工藝所需的目標(biāo) Torr 值以實現(xiàn)潔凈、無污染生產(chǎn)。
美國BROOKS流量計-XacTorr® 系列電容壓力計特點
適用于 0.10 Torr - 1000 Torr 過程真空度范圍
有多種精度水平可供選擇
Mark IV 專利傳感器
數(shù)字化架構(gòu)可實現(xiàn)超高精確度的寬動態(tài)范圍操作
雙區(qū)域溫控功能可提高測量穩(wěn)定性和可重現(xiàn)性
多段數(shù)字校準(zhǔn)功能可提供高級窗口顯示已知精度
智能觸控式零點調(diào)節(jié)
可單獨輕松訪問的診斷維護(hù)端口
DeviceNet® 和模擬通信選件
美國BROOKS流量計-XacTorr® 系列電容壓力計優(yōu)勢
漂移較低，能夠為過程氣體沉積提供極好的保護(hù)
無需使用手動電位計，不存在電子漂移
快速預(yù)熱、閉閥溫度控制并能夠根據(jù)變化做出快速響應(yīng)
多段校準(zhǔn)功能可提供高級窗口顯示已知精度以及對環(huán)境溫度影響的實時補(bǔ)償
如果壓力過高或者未達(dá)到目標(biāo)溫度則無法調(diào)零
診斷端口允許用戶在設(shè)備運行期間提供監(jiān)視和數(shù)據(jù)采集功能，實現(xiàn)倉室和工具匹配以及“實時”高級故障排除
超導(dǎo)體制造
薄膜沉積工藝 – 玻璃、網(wǎng)格和光學(xué)涂層
凍干易腐材料
適用于醫(yī)療儀器的高科技涂層（手術(shù)儀器、牙鉆等）