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美國BROOKS流量計-GF40系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器介紹

發(fā)布日期：2022-08-09 14:54:16

美國BROOKS流量計-GF40系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器介紹

一臺設(shè)備，適用于多種氣體和多種流量，無與倫比的靈活性
型號 GF40
使用一臺設(shè)備應(yīng)對多種氣體相當(dāng)于實現(xiàn)了工藝靈活性和生產(chǎn)效率最大化。采用布魯克斯儀器獨有 MultiFlo™ 技術(shù)的 GF40 系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器非常適用于那些使用多種氣體、需要頻繁切換氣體類型或是需要在保證氣體測量和控制準(zhǔn)確性的同時重新設(shè)定測量范圍的系統(tǒng)、工藝和設(shè)施。該產(chǎn)品與前所未有的流量測量和控制性能相結(jié)合，能夠?qū)⒐に囲`活性提升至新高度。
 

一、美國BROOKS流量計-GF40系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器特點

 
可編程多氣體/多量程功能
Brooks® MultiFlo™ 氣體數(shù)據(jù)庫包含數(shù)千種天然氣體測定結(jié)果，可用于建立修正函數(shù)
流量響應(yīng)時間不足 1 秒，精度可達(dá)目標(biāo)應(yīng)用設(shè)定值的 1%
非常適用于各種氣體
快速響應(yīng)，哈氏合金傳感器
擁有獨立于工具通信并可輕松接入的診斷服務(wù)端口
多協(xié)議通信選件包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485 模擬接口
 

二、美國BROOKS流量計-GF40系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器優(yōu)勢

 
MultiFlo™ 技術(shù)能夠在不拆除管路中 MFC 的條件下設(shè)定新氣體和滿量程，從而最大限度延長運行時間
MultiFlo™ 編程功能簡單、易用；60 s 內(nèi)即可完成新氣體的選擇操作
可大幅降低設(shè)備商和大型終端用戶的流量控制器庫存
得益于基于國際標(biāo)準(zhǔn)的高級計量系統(tǒng)和校準(zhǔn)技術(shù)，產(chǎn)品擁有出色的工藝氣體測量精度
耐腐蝕傳感器擁有無可比擬的長期穩(wěn)定性，可確保良率和產(chǎn)能最大化
對用戶開放的服務(wù)端口簡化了故障排除和診斷操作
各種橡膠密封件為各種應(yīng)用提供了經(jīng)濟(jì)實惠的性能靈活性
多協(xié)議通信接口可集成至現(xiàn)有系統(tǒng)
 

三、美國BROOKS流量計-GF40系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器應(yīng)用

 
太陽能電池化學(xué)氣相沉積
生命科學(xué)實驗室
真空處理
納米技術(shù)/MEMS 制造
等離子體、玻璃和卷繞鍍膜系統(tǒng)
非常適用于管匯系統(tǒng)/氣體輸送系統(tǒng)
美國BROOKS流量計-GF40系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器介紹
GF40
流量范圍-滿量程容量
3 sccm - 50 slm
 
精度
1% S.P. 35-100%
 
0.35% F.S. 2-35%
 
最大壓力 150 psig/10 bar
重復(fù)性 <0.20% S.P.
多氣體多量程 MultiFlo™ Available
診斷能力
Status Lights: MFC Health, Network Status
 
Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption
 
Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack
 
模擬通訊
 0-5 V,  0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA
 
數(shù)字通訊
DeviceNet™
 
EtherCAT™
 
Profibus®
 
RS485
 
 

四、美國BROOKS流量計-GF40系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計和控制器產(chǎn)品類型

 
Mass Flow Controller
區(qū)別
High Accuracy
 
MultiFlo™ Capability
 
Compact Size
 
Suitable for Full Suite of Gases
 
性能
流量范圍-滿量程容量3 sccm - 50 slpm
精度
1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%
 
重復(fù)性
0.20% SP
 
線性
±0.5% FS (included in accuracy)
 
響應(yīng)時間-常閉
Normally Closed Valve: 300 ms - <1 sec
 
多氣體多量程MultiFlo™ Available
控制范圍
2-100%
 
                                        
 
 
 
Bin的數(shù)量
10 Bins
 
閥門關(guān)閉
Closes valve when set point drops below 1.5% full scale
 
零點穩(wěn)定性<±0.5% FS per year
壓力系數(shù)
0.03% per psi (0-50psi N2)
 
等級
溫度范圍
5-50oC (41-122oF)
 
最大壓力
150 psig/10 bar
 
壓差范圍
3-860 sccm = 7-45 psid
 
861-7200 sccm = 15-45 psid
 
7201-55000 sccm = 25-45 psid
 
*Contact Brooks Technical Support for more information.
 
漏率1x10-10 atm cc/sec He
機(jī)械
密封材料Elastomer Seal
表面拋光32µ inch Ra
接液材料
316 Stainless Steel, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055
 
閥門
Normally Closed
 
Normally Open
 
Meter (no valve)
 
診斷
診斷能力
Available
 
診斷/服務(wù)端口
Available
 
電氣
模擬通訊
0-5 V, 0-10 V
0-20 mA, 4-20 mA
 
數(shù)字通訊
DeviceNetTM
EtherCAT®
Profibus®
RS485
 
電氣連接DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B)
 
EtherCAT®: 5-pin M8 with threaded coupling nut/2 x RJ45
 
Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D/1 x 9-pin female Sub-D
 
RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)
電源-功耗Analog / RS-485
 
From +12 Vdc to +24 Vdc: 7 Watt/8 Watt
 
DeviceNet™
 
From +11 Vdc to +25 Vdc: 7 Watt/8 Watt
 
EtherCAT® / Profibus®
 
From +13.5 Vdc to +27 Vdc: 7 Watt/8 Watt
承諾
認(rèn)證和批準(zhǔn)
CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
 
Safety EN61010-1
 
符合環(huán)保要求
RoHS Directive (2011/65/EU)
 
REACH Directive EC 1907/2006
 
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