美國(guó)BROOKS流量計(jì)VersaTorr BVT100 系列皮拉尼傳感器
具有大氣開(kāi)關(guān)功能的超寬范圍皮拉尼/壓電傳感器。
VersaTorr BVT100/125 系列皮拉尼傳感器提供一流的性能，并通過(guò)將熱導(dǎo)真空計(jì)的可用測(cè)量范圍擴(kuò)大 1-3 個(gè)十年來(lái)建立了新標(biāo)準(zhǔn)。
VersaTorr BVT100/125 系列基于尖端的 MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)，結(jié)合了新穎的精密數(shù)字信號(hào)處理架構(gòu)和先進(jìn)的創(chuàng)新測(cè)量算法。與精密自動(dòng)化制造和校準(zhǔn)過(guò)程一起，這些元素結(jié)合在一起提供了一種獨(dú)特的產(chǎn)品，能夠提供無(wú)與倫比的測(cè)量性能。
通過(guò)集成 MEMS 隔膜傳感器，可以消除熱導(dǎo)率計(jì)粗真空范圍內(nèi)眾所周知的氣體依賴性，該傳感器提供的精度性能可與更昂貴的電容壓力計(jì)相媲美。此功能可確保更準(zhǔn)確地控制真空系統(tǒng)排氣過(guò)程，并可防止真空系統(tǒng)過(guò)壓。
特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
9個(gè)十進(jìn)制的超寬測(cè)量范圍
先進(jìn)的數(shù)字信號(hào)處理提供無(wú)與倫比的性價(jià)比
2 至 1333 mbar 與氣體無(wú)關(guān)的隔膜傳感器
通過(guò) Brooks Vacuum Transducer Communicator USB 編程器輕松配置
超穩(wěn)定的零點(diǎn)漂移補(bǔ)償
用于過(guò)程控制的可選固態(tài)設(shè)定點(diǎn)繼電器
應(yīng)用
負(fù)載鎖
轉(zhuǎn)移室
前線
真空粗加工線
薄膜加工
產(chǎn)品類別雙傳感器：MEMS Pirani 和壓電隔膜
微分器
精度更高，工作范圍寬，可實(shí)現(xiàn)可靠的抽空和基礎(chǔ)壓力測(cè)量
表現(xiàn)
溫度環(huán)境溫度 - 50 o C
壓力范圍
7.5x10 -7托至 1000 托
準(zhǔn)確性
7.5x10 -5至 7.49x10 -3托：±5%
7.5x10 -3至 7.49 托：±5%
7.50 至 7.49 托：±1%
75 托至 1000 托：≤±0.5%
測(cè)量范圍9個(gè)十年
溫度效應(yīng)
環(huán)境溫度 - 50 o C
機(jī)械的
暴露材料304 不銹鋼、可伐合金、玻璃、硅、鎳、鋁、SiO 2、Si 3 N 4、金、Viton ®、低釋氣環(huán)氧樹(shù)脂、焊料、RO4305
過(guò)壓限制10 巴絕對(duì)壓力
電氣
模擬通信
0.5-9.5 Vdc（每十倍頻 1V）
數(shù)字通信
RS-232
RS-485
電氣連接
9 針 D-sub 公頭
15針高清D-sub公頭
15 針高清 D-Sub 公頭/雙模擬輸出
6 針 Hirschmann，ID 分辨率 3K
6 針 Hirschmann，ID res 5.1K
6 針 Hirschmann，ID 分辨率 9.1K/11.1K
8 針 RJ45 / FCC68，ID 分辨率 27K
8 針 RJ45 / FCC68，ID 分辨率 36K
8 針 RJ45 / FCC68，ID 分辨率 43K
電源/消耗240 兆瓦（最大）
認(rèn)證/批準(zhǔn)
電磁兼容歐盟指令 2015/863 EMC 指令 2014/30/EU