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美國(guó)BROOKS流量計(jì)SLA系列 |
美國(guó)BROOKS流量計(jì)GF40系列 |
5850E 和 i 系列 |
美國(guó)BROOKS流量計(jì)SLAMf系列 |
美國(guó)BROOKS流量計(jì)4800 系列 |
5700 系列 |
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產(chǎn)品類(lèi)別 |
質(zhì)量流量控制器 |
質(zhì)量流量控制器 |
質(zhì)量流量控制器 |
質(zhì)量流量控制器 |
質(zhì)量流量控制器 |
質(zhì)量流量計(jì) |
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微分器 |
寬流量和壓力范圍
卓越的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
高準(zhǔn)確率
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高準(zhǔn)確率
MultiFlo™ 能力
緊湊的尺寸
適用于全套氣體
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經(jīng)驗(yàn)證的可靠性能
長(zhǎng)期穩(wěn)定性
易于在現(xiàn)場(chǎng)更改范圍和重新校準(zhǔn)
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NEMA 4X/IP66 認(rèn)證外殼
非常適合軟管沖洗/沖洗應(yīng)用
危險(xiǎn)區(qū)域批準(zhǔn)
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超快的響應(yīng)時(shí)間
可選的本地操作員界面
緊湊的尺寸
適用于非腐蝕性氣體
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經(jīng)濟(jì)
緊湊
體積設(shè)備的理想升級(jí)
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流量范圍（滿量程） |
.003 - 2500 slpm |
3 sccm - 50 slpm |
0 - 1000 升/分鐘 |
.003 - 2500 slpm |
50 sccm - 40 slpm |
0 - 50 升/分鐘 |
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密封材料 |
彈性體密封 |
彈性體密封 |
彈性體密封 |
彈性體密封 |
彈性體密封 |
不銹鋼 |
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最大壓力 |
17025 認(rèn)證設(shè)備（包括線性度，不包括校準(zhǔn)系統(tǒng)測(cè)量不確定度，根據(jù) SEMI E69）
±0.6% SP (20-100% FS)
±0.12% FS (<20% FS)
1100 slpm 至 2500 slpm：FS 的 ±0.6%
標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備（包括來(lái)自參考標(biāo)準(zhǔn)的不確定性
±0.9% SP (20-100% FS)
±0.18% FS (2-20% FS)
1100 slpm 至 2500 slpm：±1.0% FS
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SP 35-100% 的 1%，F(xiàn)S 2-35% 的 0.35% |
FS 的 1%
1.5% FS > 20 slpm
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17025 認(rèn)證設(shè)備（包括線性度，不包括校準(zhǔn)系統(tǒng)測(cè)量不確定度，根據(jù) SEMI E69）
±0.6% SP (20-100% FS)
±0.12% FS (<20% FS)
1100 slpm 至 2500 slpm：FS 的 ±0.6%
標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備（包括來(lái)自參考標(biāo)準(zhǔn)的不確定性
±0.9% SP (20-100% FS)
±0.18% FS (2-20% FS)
1100 slpm 至 2500 slpm：±1.0% FS
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FS 的 3.0%
FS 的 1.0%（可選）
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FS 的 5%，包括線性度 |
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重復(fù)性 |
0.20% SP |
0.20% SP |
費(fèi)率的 0.25% |
0.20% SP |
0.15% FS |
0.15% FS |
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多氣體和范圍可配置性 |
標(biāo)準(zhǔn) |
MultiFlo™ 可用 |
- |
標(biāo)準(zhǔn) |
- |
- |
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診斷能力 |
可用的 |
可用的 |
- |
可用的 |
可用的 |
- |
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模擬通信 |
0-5 V、1-5 V、0-10 V、0-20 mA、4-20 mA |
0-5 伏、0-10 伏
0-20 毫安、4-20 毫安
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0-5 伏直流
0-20 毫安
4-20 毫安
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0-5 V、1-5 V、0-10 V、0-20 mA、4-20 mA |
0-5 伏直流
4-20 毫安
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0-5 V 到 1000 歐姆或更大 |
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數(shù)字通信 |
DeviceNet™
EtherCAT®
EtherNet/IP™
FOUNDATION TM現(xiàn)場(chǎng)總線
Profibus®
PROFINET
RS-485
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DeviceNet TM
EtherCAT®
Profibus®
RS485
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DeviceNet™
EtherNet/IP™
FOUNDATION TM現(xiàn)場(chǎng)總線
Profibus®
PROFINET
RS-485
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RS232 |
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尺寸 |
中等的 |
袖珍的 |
中等的 |
大的 |
袖珍的 |
袖珍的 |
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認(rèn)證/批準(zhǔn) |
ISO/IEC 17025:2005
CE：EMC 指令 2014/30/EU
指令 2011/65/EU
UL（認(rèn)可）： I 類(lèi)，2 區(qū)
，A、B、C、D
類(lèi) I 類(lèi)，2 區(qū)，IIC T4
II 類(lèi)，22 區(qū)
ATEX：II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
IECEx：II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
KOSHA: Ex nA IIC T4
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CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
安全 EN61010-1
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ISO/IEC 17025:2005
CE： EMC、RoHs、PED
UL 列名/認(rèn)可：
1 類(lèi)，2 區(qū)，A、B、C、D 組
1 類(lèi)，2 區(qū)，IIC T4，II 類(lèi)，22 區(qū)
防爆：
II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
II 3 D Ex tc IIIC T 85°C 直流
IECEx：
Ex nA IIC T4 Gc
Ex tc IIIC T 85°C 直流
科沙：
Ex nA IIC T4
Ex tc IIIC T85°C 直流
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ATEX 2 區(qū)
CSA Div 2/Zone 2（已識(shí)別）
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