美國BROOKS流量計汽化產品應用
先進的汽化技術可實現更純凈、更高效的蒸汽生產。
許多工業(yè)和半導體工藝需要將包括水和其他液體前體在內的液體轉化為高度可控的純蒸汽。
汽化是從液相到氣相的相變。因此，蒸發(fā)器是將液態(tài)材料轉化為氣態(tài)的任何系統(tǒng)。雖然可以通過多種不同方式實現汽化，但所有現代汽化器（例如水汽化器）都具有幾個共同特征：
提高溫度和/或降低液體的環(huán)境壓力
用于捕獲和控制蒸汽流量的封閉系統(tǒng)
利用反饋和控制回路系統(tǒng)來調節(jié)汽化率
主要應用
水汽化/加濕
化學氣相沉積
沉積薄膜以增強熱、光學或硬度特性
用于真空聚合物薄膜處理的汽化單體
產生校準蒸氣
蒸發(fā)液態(tài)碳氫化合物
蒸汽輸送模塊
超高壓去離子水蒸氣應用
僅低于大氣壓的工藝室
產品類別去離子水蒸氣輸送模塊
微分器
高純度 DIW 蒸汽輸送
最高流量精度
緊湊型設計
EtherCAT 數字通信
增強用戶界面
汽化法蒸汽抽吸
流體類型去離子水
最大蒸汽容量
3000 sccm（去離子水）
最大壓力200 托
