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MKS型253排氣節(jié)流閥調(diào)節(jié)從處理系統(tǒng)排出的氣體。它的擋板定位調(diào)節(jié)氣體流量,從而控制工藝壓力。253在擋板軸和電機(jī)傳動(dòng)軸之間安裝了一個(gè)非線(xiàn)性執(zhí)行器,以產(chǎn)生線(xiàn)性的閥門(mén)傳遞特性,并提供平滑的線(xiàn)性壓力控制。MKS型253可在標(biāo)準(zhǔn)尺寸和法蘭風(fēng)格,并兼容所有的MKS節(jié)流閥控制器。
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