福建代理日本HORIBA流量計(jì)選型
日本HORIBA流量計(jì)-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質(zhì)量流量計(jì)
日本HORIBA SEC-Z700系列熱感傳感器,壓力鈍感質(zhì)量流量計(jì)
型號(hào);
SEC-Z712MGX SEC-714MGX SEC-Z722MGX SEC-Z724MGX SEC-Z732MGX SEC-Z734MGX SEC-Z742MGX SEC-Z743MGX
概要
SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本,尺寸及復(fù)雜度。
特征
多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程
可變PID功能實(shí)現(xiàn)整個(gè)范圍內(nèi)的高速響應(yīng)(1秒內(nèi))
簡(jiǎn)化氣路線無需額外增加調(diào)節(jié)器,傳感器,過濾器
穩(wěn)定控制氣體流量,不受上游端及下游端的壓力波動(dòng)影響
搭載進(jìn)氣壓傳感器
多種展示
1% S.P.的精度
潔凈設(shè)計(jì) - 金屬隔板,采用不銹鋼SUS-316L,拋光面表面處理(標(biāo)準(zhǔn))
輕巧的尺寸
50SLM內(nèi)相同的配件尺寸
信號(hào)兼容
模擬式/RS485 數(shù)字式 , DeviceNet™模式
數(shù)字信號(hào)控制
· 適用于廣泛范圍的流量控制:在同一系列中,適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制· 適用于廣泛的用途:在普通產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)中,擁有眾多的銷售業(yè)績(jī),引以為豪。· 低成本:產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢(shì)的型號(hào):SEC-E40MK3/E50MK3如今半導(dǎo)體成為工業(yè)進(jìn)化中的核心部件。HORIBA聚焦于半導(dǎo)體的微觀世界。HORIBA各個(gè)領(lǐng)域的專家學(xué)者們致力于不同行業(yè)的工程項(xiàng)目研究,諸如評(píng)估和分析、超純水的純度、氣液體的成分,更廣泛地說即和。伴隨HORIBA明確針對(duì)全工藝流程的目標(biāo),我們已成功開發(fā)了一系列的分析設(shè)備,液體控制和監(jiān)測(cè)系統(tǒng)已適應(yīng)半導(dǎo)體制程中每一步工藝所需的嚴(yán)格質(zhì)量控制需求。在制程的整個(gè)階段,從材料分析到檢查,HORIBA產(chǎn)品能幫助客戶在高精尖端的電子器件制程達(dá)到能。
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通??煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí),對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在對(duì)流量進(jìn)行計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。日本HORIBA流量計(jì)Gas Mass Flow Controllers / Meters
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