陜西代理日本HORIBA流量計的詳細信息

日本HORIBA流量計概要
質量流量計是半導體制造設備中關鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。

HORIBA STEC, 作為范圍內市場占有率超過35%*1的流量計生產商, 長期以來如一的為半導體工業(yè)提供高質量、多功能的產品?，F(xiàn)在，手攜的技術，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質量流量控制器： Z500系列。

相對于舊有的型號，Z500X 系列實現(xiàn)了的突破， 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現(xiàn)了復合氣體、復合流量的轉換?？蛻艨梢愿鶕?jù)制程需要，輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。

此外，藉由產品材料的技術革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產品的設計要求，為客戶提升產品價值。

高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導體工業(yè)的新型質量流量計的誕生。

1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
2 復合氣體、復合流量功能。


日本HORIBA流量計特征
高精度：設定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償?shù)模?此技術在各控制范圍內獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發(fā)了標準的氣體測量系統(tǒng)， 并在大量實驗的基礎上，采集各種制程氣體的校準數(shù)據(jù)。
高速響應
SEC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng)，任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時，PID數(shù)據(jù)將進行自動的調整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數(shù)據(jù)也能夠自動優(yōu)化，實現(xiàn)高速響應。
復合氣體、復合流量方案
HORIBA STEC 新產品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量，同時節(jié)省了時間和成本。

HORIBA STEC的質量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場份額，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS處理 常見的壓力控制器是UR-Z700系列，一款數(shù)字式自動壓力調節(jié)器。根據(jù)不同用途，該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調節(jié)器通常運用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中，當供氣壓力突然發(fā)生變化時，管道或罐體內的壓力也隨之發(fā)生變化，這不僅會影響整條管路流量的穩(wěn)定，甚至可能會對整臺設備的造成大威脅。針對這個問題HORIBA集團研發(fā)出UR-Z700系列，通過響應，高精度，穩(wěn)定控制的性能來調整管路壓力。即使面對這種情況，只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力，并確保氣體質量流量控制器及反應源液的穩(wěn)定運行。?

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