內(nèi)蒙古供應日本HORIBA流量計聯(lián)系方式
日本HORIBA流量計(型號:S48300/HMT)
1,可應用行業(yè):真空鍍膜 表面處理 配氣系統(tǒng)等
2,流量:(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
3,產(chǎn)品特點:
A,高精度
B,良好的線性
C,的響應
D,電磁閥使用壽命≥100萬次
E,對零點漂移有效的抑制
F,化的零配件供應
G,通訊接口優(yōu)勢
H,多臺控制器可以同時運行
日本HORIBA流量計-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質(zhì)量流量計
日本HORIBA? SEC-Z700系列熱感傳感器,壓力鈍感質(zhì)量流量計
型號;
?SEC-Z712MGX? SEC-714MGX? SEC-Z722MGX? SEC-Z724MGX? SEC-Z732MGX? SEC-Z734MGX? SEC-Z742MGX? SEC-Z743MGX
概要
SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實現(xiàn)穩(wěn)定流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本,尺寸及復雜度。
特征
多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程
可變PID功能實現(xiàn)整個范圍內(nèi)的高速響應(1秒內(nèi))
簡化氣路線無需額外增加調(diào)節(jié)器,傳感器,過濾器
穩(wěn)定控制氣體流量,不受上游端及下游端的壓力波動影響
搭載進氣壓傳感器
多種展示
1% S.P.的精度
潔凈設計 - 金屬隔板,采用不銹鋼SUS-316L,拋光面表面處理(標準)
輕巧的尺寸
50SLM內(nèi)相同的配件尺寸
信號兼容
模擬式/RS485 數(shù)字式 , DeviceNet?模式
數(shù)字信號控制
日本HORIBA流量計特征
高精度:設定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償?shù)模?此技術在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度, HORIBA STEC研發(fā)了標準的氣體測量系統(tǒng), 并在大量實驗的基礎上,采集各種制程氣體的校準數(shù)據(jù)。
高速響應
SEC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng),任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設定不同流量時,PID數(shù)據(jù)將進行自動的調(diào)整,即使在氣體種類和流量范圍變更后,PID數(shù)據(jù)也能夠自動優(yōu)化,實現(xiàn)高速響應。
復合氣體、復合流量方案
HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來,就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量,同時節(jié)省了時間和成本。
此外,藉由產(chǎn)品材料的技術革新, Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設計要求,為客戶提升產(chǎn)品價值。高性能的Z500系列流量計,將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計的誕生。日本HORIBA流量計-SEF-Z542質(zhì)量流量計特征 高精度:設定流量值±1.0%. MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償?shù)模?此技術在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度, HORIBA STEC研發(fā)了標準的氣體測量系統(tǒng), 并在大量實驗的基礎上,采集各種制程氣體的校準數(shù)據(jù)。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時經(jīng)銷真空和鍍膜設備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng),對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗收標準。