山西進口日本HORIBA流量計廠家
此外，藉由產品材料的技術革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產品的設計要求，為客戶提升產品價值。高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導體工業(yè)的新型質量流量計的誕生。日本HORIBA流量計-SEF-Z542質量流量計特征 高精度：設定流量值±1.0%. MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償的， 此技術在各控制范圍內獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發(fā)了標準的氣體測量系統， 并在大量實驗的基礎上，采集各種制程氣體的校準數據。
·?適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制·?適用于廣泛的用途：在普通產業(yè)市場中，擁有眾多的銷售業(yè)績，引以為豪?！?低成本：產品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號：SEC-E40MK3/E50MK3如今半導體成為工業(yè)進化中的核心部件。HORIBA聚焦于半導體的微觀世界。HORIBA各個領域的專家學者們致力于不同行業(yè)的工程項目研究，諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分，更廣泛地說即和。伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標，我們已成功開發(fā)了一系列的分析設備，液體控制和監(jiān)測系統已適應半導體制程中每一步工藝所需的嚴格質量控制需求。在制程的整個階段，從材料分析到檢查，HORIBA產品能幫助客戶在高精尖端的電子器件制程達到能。
日本HORIBA流量計其它型號
SEC- (質量流量控制器)
E40/E40MK3
E50/E50MK3
SEF- (質量流量計)
E40
E50
適用氣體種類*1
非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號
非通電時?關閉
標準流量量程 (N2相應F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列)
2? F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列)
0? F.S.
響應速度
1秒以內(T98)
流量精度
±1% F.S.
直線性
±0.5% F.S.
反復性
±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐?壓
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度
5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設定信號
0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2? F.S.
流量輸出信號
0?5VDC(負荷電阻2kΩ)
驅動電源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2
1/4SWL 類型
日本HORIBA流量計HORIBA STEC 系列
STEC SMT-3000模擬橡膠密封質量流量計
STEC SFC-480模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEF-11模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-Z10D模擬金屬密封質量流量計
STEC SEC-PV2000模擬金屬密封質量流量計
STEC SEC-PV1000模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7440模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7340模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7350模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7330模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-4600模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-4500模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-4400模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-3400S模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-400模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-300模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-E40MK3低成本質量流量控制器
STEC SEC E50MK3低成本質量流量控制器
STEC LF-F/LV-F系列液體微小質量流量計/控制器
STEC SEC-400MK3低成本質量流量控制器
STEC SEC 500MK3低成本質量流量控制器
STEC SEC-N100數字式質量流量控制器
STEC SEC-Z700熱感傳感器，壓力鈍感質量流量計
STEC SEC-Z500X多范圍/多氣體的數字式質量流量控制器
STEC SEC-8000F/D高溫應用質量流量控制器
STEC SEC-2000高溫的質量流量控制器
STEC SEC-8000高溫應用質量流量控制器
日本HORIBA流量計規(guī)格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大50slm N2 標稱流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大200slm N2 標稱流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet? 質量流量控制器, 適用于大 50slm N2 標稱流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet?質量流量控制器, 適用于大 200slm N2 標稱流量.
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質量流量控制系統的銷售與服務。是質量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統的專業(yè)供應商。
質量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產品。我們知名的氣體流量校準系統，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。