西藏進口日本HORIBA流量計控制器
日本HORIBA流量計概要
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測定時,對溫度和壓力進行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進行流體測量。在對流量進行計測和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
日本HORIBA流量計-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質(zhì)量流量計
日本HORIBA? SEC-Z700系列熱感傳感器,壓力鈍感質(zhì)量流量計
型號;
?SEC-Z712MGX? SEC-714MGX? SEC-Z722MGX? SEC-Z724MGX? SEC-Z732MGX? SEC-Z734MGX? SEC-Z742MGX? SEC-Z743MGX
概要
SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實現(xiàn)穩(wěn)定流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本,尺寸及復(fù)雜度。
特征
多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程
可變PID功能實現(xiàn)整個范圍內(nèi)的高速響應(yīng)(1秒內(nèi))
簡化氣路線無需額外增加調(diào)節(jié)器,傳感器,過濾器
穩(wěn)定控制氣體流量,不受上游端及下游端的壓力波動影響
搭載進氣壓傳感器
多種展示
1% S.P.的精度
潔凈設(shè)計 - 金屬隔板,采用不銹鋼SUS-316L,拋光面表面處理(標(biāo)準(zhǔn))
輕巧的尺寸
50SLM內(nèi)相同的配件尺寸
信號兼容
模擬式/RS485 數(shù)字式 , DeviceNet?模式
數(shù)字信號控制
日本HORIBA流量計HORIBA STEC 系列
STEC SMT-3000模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SFC-480模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEF-11模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-Z10D模擬金屬密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-PV2000模擬金屬密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-PV1000模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-7440模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-7340模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-7350模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-7330模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-4600模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-4500模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-4400模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-3400S模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-400模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-300模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
STEC SEC-E40MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC SEC E50MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC LF-F/LV-F系列液體微小質(zhì)量流量計/控制器
STEC SEC-400MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC SEC 500MK3低成本質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-N100數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-Z700熱感傳感器,壓力鈍感質(zhì)量流量計
STEC SEC-Z500X多范圍/多氣體的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-8000F/D高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-2000高溫的質(zhì)量流量控制器
STEC SEC-8000高溫應(yīng)用質(zhì)量流量控制器
·?適用于廣泛范圍的流量控制:在同一系列中,適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制·?適用于廣泛的用途:在普通產(chǎn)業(yè)市場中,擁有眾多的銷售業(yè)績,引以為豪?!?低成本:產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號:SEC-E40MK3/E50MK3如今半導(dǎo)體成為工業(yè)進化中的核心部件。HORIBA聚焦于半導(dǎo)體的微觀世界。HORIBA各個領(lǐng)域的專家學(xué)者們致力于不同行業(yè)的工程項目研究,諸如評估和分析、超純水的純度、氣液體的成分,更廣泛地說即和。伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標(biāo),我們已成功開發(fā)了一系列的分析設(shè)備,液體控制和監(jiān)測系統(tǒng)已適應(yīng)半導(dǎo)體制程中每一步工藝所需的嚴(yán)格質(zhì)量控制需求。在制程的整個階段,從材料分析到檢查,HORIBA產(chǎn)品能幫助客戶在高精尖端的電子器件制程達(dá)到能。
EC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng),任意兩個設(shè)定流量點之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時,PID數(shù)據(jù)將進行自動的調(diào)整,即使在氣體種類和流量范圍變更后,PID數(shù)據(jù)也能夠自動優(yōu)化,實現(xiàn)高速響應(yīng)。 復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案 HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實. 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來,就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量,同時節(jié)省了時間和成本。
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng),對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗收標(biāo)準(zhǔn)。