北京進(jìn)口日本HORIBA流量計(jì)說明書
日本HORIBA流量計(jì)-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質(zhì)量流量計(jì)
日本HORIBA? SEC-Z700系列熱感傳感器,壓力鈍感質(zhì)量流量計(jì)
型號(hào);
?SEC-Z712MGX? SEC-714MGX? SEC-Z722MGX? SEC-Z724MGX? SEC-Z732MGX? SEC-Z734MGX? SEC-Z742MGX? SEC-Z743MGX
概要
SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本,尺寸及復(fù)雜度。
特征
多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程
可變PID功能實(shí)現(xiàn)整個(gè)范圍內(nèi)的高速響應(yīng)(1秒內(nèi))
簡(jiǎn)化氣路線無需額外增加調(diào)節(jié)器,傳感器,過濾器
穩(wěn)定控制氣體流量,不受上游端及下游端的壓力波動(dòng)影響
搭載進(jìn)氣壓傳感器
多種展示
1% S.P.的精度
潔凈設(shè)計(jì) - 金屬隔板,采用不銹鋼SUS-316L,拋光面表面處理(標(biāo)準(zhǔn))
輕巧的尺寸
50SLM內(nèi)相同的配件尺寸
信號(hào)兼容
模擬式/RS485 數(shù)字式 , DeviceNet?模式
數(shù)字信號(hào)控制
日本HORIBA流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器SEC-E40質(zhì)量流量計(jì)
無錫飛斯卡精密科技有限公司
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí),對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在對(duì)流量進(jìn)行計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域,質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用,例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
此外,藉由產(chǎn)品材料的技術(shù)革新, Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設(shè)計(jì)要求,為客戶提升產(chǎn)品價(jià)值。高性能的Z500系列流量計(jì),將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個(gè)半導(dǎo)體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計(jì)的誕生。日本HORIBA流量計(jì)-SEF-Z542質(zhì)量流量計(jì)特征 高精度:設(shè)定流量值±1.0%. MFC的線性精度是由多項(xiàng)式近似曲線進(jìn)行補(bǔ)償?shù)模?此技術(shù)在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實(shí)際氣體種類的控制精度, HORIBA STEC研發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的氣體測(cè)量系統(tǒng), 并在大量實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上,采集各種制程氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
? UR系列產(chǎn)品為使用高精度壓力傳感器及,響應(yīng)迅速壓電陶瓷閥的數(shù)字式調(diào)節(jié)器。它們能控制收到的相關(guān)的外部控制信號(hào)。氣體接觸面的全金屬制造,使這些單元能夠在超純的氣體供應(yīng)系統(tǒng)里進(jìn)行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的,以及擁有世界大的市場(chǎng)份額。
HoribaZ700系列的產(chǎn)品特征:
可使用DeviceNet控制接口
符合官方要求的RoHS處理
無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時(shí)經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計(jì),美國BROOKS流量計(jì),美國MKS真空計(jì),德國普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng),對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新,性能可靠,原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。