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MKS流量控制器
陜西進(jìn)口美國mks流量計(jì)說明書
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陜西進(jìn)口美國mks流量計(jì)說明書

GE50A采用標(biāo)準(zhǔn)的3英寸尺寸,常用于5sccm至50slm流速范圍內(nèi)的MFC,無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。GE50A的設(shè)計(jì)采用了少的彈性體。只有一個(gè)外部彈性體密封和彈性體閥塞。否則,潤濕表面都是金屬的。GE50A標(biāo)配氟橡膠密封件,以及丁腈橡膠、氯丁橡膠、EPMD或Kalrez可選件,允許該裝置用于需要這些替代件之一的氣體設(shè)定值準(zhǔn)確度的百分比對(duì)于20%至100%的全刻度流量范圍,包括的數(shù)字校準(zhǔn)產(chǎn)生1%的設(shè)定點(diǎn)精度,使用N2校準(zhǔn)氣體。設(shè)定點(diǎn)精度可實(shí)現(xiàn)的過程控制,相對(duì)于滿量程精度而言。對(duì)于2%至20%滿量程的質(zhì)量流量,精度為滿量程的0.2%。


美國mks流量計(jì)技術(shù)規(guī)格類型:質(zhì)量流量控制器校準(zhǔn)氣體:N2(或同等產(chǎn)品)控制范圍:20-1000sccm滿量程流量范圍:1000sccm配件類型:4錄像機(jī)男性密封材料:氟橡膠流量輸入輸出信號(hào):0-5伏直流電模擬連接器:15針D-sub(接地)大入口壓力:150磅/平方英寸正常工作壓差:10至40磅/平方英寸耐受壓力:1000磅/平方英寸破裂壓力:1500磅/平方英寸典型精度:20至100%滿量程時(shí)為設(shè)定值的1%,2至20%滿量程時(shí)為滿量程的0.2%可重復(fù)性:讀數(shù)的0.3%解決:滿量程的0.1%零溫度系數(shù):%3C0.05%滿量程/℃跨度溫度系數(shù):讀數(shù)的%3c0.08%/C入口壓力系數(shù):讀數(shù)的%3C0.02%每平方英寸典型建立時(shí)間:%3C750毫秒,典型值高于滿量程的5%預(yù)熱時(shí)間:30分鐘


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和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國mks流量計(jì),美國BROOKS流量計(jì),美國MKS真空計(jì),德國普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)),COMDEL、AE、
HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子 /
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